刻蝕設(shè)備進(jìn)入5nm及更先進(jìn)生產(chǎn)線 中微公司一季度凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)134.98%

    本報(bào)記者 徐一鳴 見習(xí)記者 孫文青

    4月28日晚，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）發(fā)布2023年一季報(bào)。今年一季度，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入12.23億元，同比增長(zhǎng)28.86%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)2.75億元，同比增長(zhǎng)134.98%。

    中微公司表示，支撐公司業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)的主要原因?yàn)楣靖靼雽?dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品銷量的增長(zhǎng)。

    報(bào)告期內(nèi)，中微公司的刻蝕設(shè)備在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)占有率不斷提高。其中，在國(guó)際最先進(jìn)的5nm芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)了多次批量銷售，已有超過200臺(tái)反應(yīng)臺(tái)在生產(chǎn)線合格運(yùn)轉(zhuǎn)。另外公司的ICP刻蝕設(shè)備不斷地核準(zhǔn)更多刻蝕應(yīng)用，迅速擴(kuò)大市場(chǎng)并不斷收到領(lǐng)先客戶的批量訂單。今年一季度，刻蝕設(shè)備收入為8.14億元，較上年同期增長(zhǎng)約13.94%，毛利率達(dá)到47.29%。

    同時(shí)，報(bào)告期內(nèi)，中微公司的MOCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)收入1.67億元，較上年同期增長(zhǎng)約300.48%，毛利率達(dá)到40.09%。

    在披露一季報(bào)的同時(shí)，中微公司還公告稱，擬受讓國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司持有的睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海睿勵(lì)”）6.7575%股權(quán)。

    集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測(cè)、清洗、離子注入等諸多個(gè)細(xì)分種類。工藝檢測(cè)設(shè)備是為芯片生產(chǎn)各工藝提供監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)以確保各項(xiàng)工藝指標(biāo)滿足要求從而提高成品率的關(guān)鍵性設(shè)備。隨著芯片工藝不斷向更小節(jié)點(diǎn)發(fā)展，芯片生產(chǎn)過程中的所需檢測(cè)的步驟和頻次越來越高，對(duì)工藝檢測(cè)設(shè)備的需求量隨之增加。2022年，上海睿勵(lì)實(shí)現(xiàn)的營(yíng)收和凈利潤(rùn)分別為7186.26萬元和虧損2920.95萬元。

    中微公司稱，此次對(duì)上海睿勵(lì)的股權(quán)收購(gòu)有利于進(jìn)一步促進(jìn)公司產(chǎn)業(yè)鏈延伸，有利于公司培育新的業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)，促進(jìn)公司健康發(fā)展。

（編輯 上官夢(mèng)露）