萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通向戰(zhàn)略新客戶交付超低溫離子注入機

    本報訊 （記者張文湘）12月18日，上海萬業(yè)企業(yè)股份有限公司（以下簡稱“萬業(yè)企業(yè)”）宣布，旗下上海凱世通半導體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”），成功向一家新簽集成電路戰(zhàn)略客戶交付一臺超低溫離子注入機，這是繼向該客戶交付首臺低能大束流設(shè)備一個月后的又一重大進展，標志著凱世通在集成電路重大裝備國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化方面再迎新突破。

    資料顯示，離子注入機是芯片制造的關(guān)鍵裝備，凱世通致力于為集成電路行業(yè)客戶提供性能先進、穩(wěn)定可靠的離子注入設(shè)備與技術(shù)解決方案。今年以來，凱世通持續(xù)發(fā)力，累計交付二十余臺高端離子注入機，共計服務(wù)十一家12英寸晶圓廠客戶產(chǎn)業(yè)化大生產(chǎn)。

    萬業(yè)企業(yè)介紹稱，超低溫離子注入工藝主要用于晶圓預(yù)非晶化處理，可有效減少晶體缺陷，降低漏電流，從而提升晶體管性能，具有極高的技術(shù)難度。凱世通基于自主創(chuàng)新攻克了超低溫晶圓冷卻及回溫技術(shù)、顆粒污染控制技術(shù)，超低溫注入工藝技術(shù)等一系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出超低溫低能大束流離子注入機，可實現(xiàn)零下100℃下的預(yù)非晶化離子注入，具備高可靠性、高均勻性等優(yōu)勢，滿足了主流晶圓廠量產(chǎn)需求。

（編輯 張鈺鵬）