本報訊 (記者李亞男)7月26日,記者從微導(dǎo)納米方面獲悉,公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域已推出包括iTomic系列原子層沉積系統(tǒng)、iTomic MW系列批量式原子層沉積系統(tǒng)、iTomic PE系列等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)、iTronix系列化學氣相沉積系統(tǒng)等系列產(chǎn)品,現(xiàn)有產(chǎn)品能夠?qū)壿嬓酒?、存儲芯片、化合物半?dǎo)體、新型顯示(硅基OLED)中的薄膜沉積應(yīng)用實現(xiàn)較為全面的覆蓋。
通俗來講,原子級制造就是在原子尺度上去進行加工,形成具有原子級特定結(jié)構(gòu)特征的器件產(chǎn)品。從實現(xiàn)形式上,可以是以原子級精度進行“去除”加工,也可以是以原子級精度進行“增材”制造。
而微導(dǎo)納米正是具備原子級制造能力的企業(yè),自2015年成立至今,微導(dǎo)納米形成了以原子層沉積(ALD)技術(shù)為核心,化學氣相沉積(CVD)等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的技術(shù)平臺體系,專注于先進微米級、納米級薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。
據(jù)微導(dǎo)納米相關(guān)負責人介紹,微導(dǎo)納米是國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k(高介電常數(shù))原子層沉積(ALD)設(shè)備應(yīng)用于集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備廠商,并已獲得客戶重復(fù)訂單認可。
上述負責人告訴《證券日報》記者,半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域之外,公司還一直堅持執(zhí)行ALD+CVD等鍍膜平臺化戰(zhàn)略,持續(xù)在新興領(lǐng)域進行前沿化開發(fā),為公司未來發(fā)展創(chuàng)造更多收入增長極。目前,公司已在新興領(lǐng)域取得突破并逐步顯現(xiàn)成果,在光學、柔性電子、車規(guī)級芯片等幾個極具市場潛力的薄膜沉積技術(shù)應(yīng)用前沿領(lǐng)域開始獲得客戶訂單。
(編輯 張明富)
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