國產(chǎn)光刻機(jī)取得重大突破 深市產(chǎn)業(yè)鏈公司迎來發(fā)展新機(jī)遇

    本報(bào)記者 毛藝融

    國產(chǎn)光刻機(jī)迎來重大進(jìn)展。近日，工業(yè)和信息化部印發(fā)《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》。其中，在電子專用裝備目錄下，集成電路設(shè)備方面包括氟化氬光刻機(jī)和氟化氪光刻機(jī)。氟化氪光刻機(jī)顯示為分辨率≤110nm、套刻≤25nm；氟化氬光刻機(jī)顯示為分辨率≤65nm、套刻≤8nm。

    申萬宏源證券認(rèn)為，官方披露核心設(shè)備進(jìn)展提振市場信心，國產(chǎn)光刻機(jī)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)芤?，國?nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)自主可控可期，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備整體受益。

    受益于政策利好，半導(dǎo)體設(shè)備上市公司迎來機(jī)遇。以深圳證券交易所市場（以下簡稱“深市”）上市公司為例，同飛股份、凱美特氣、奧普光電、新萊應(yīng)材、藍(lán)英裝備、金力泰等均屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域的佼佼者。

    福晶科技是一家非線性光學(xué)晶體及激光晶體、精密光學(xué)元件和激光器件制造商。2024年半年報(bào)顯示，公司瞄準(zhǔn)中高端領(lǐng)域的激光器件市場，自主研發(fā)的聲光器件、磁光器件、電光器件等器件類產(chǎn)品獲得固體紫外激光器、光纖激光器、超快激光器客戶的認(rèn)可并實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)，在聲光產(chǎn)品與光隔離器領(lǐng)域取得顯著突破，成功打破少數(shù)國外激光器件供應(yīng)商的壟斷格局。

    賽微電子是國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和掌握核心半導(dǎo)體制造技術(shù)的特色工藝專業(yè)芯片晶圓制造商，其全球客戶包括國際知名光刻機(jī)企業(yè)。公司2024年半年報(bào)顯示，報(bào)告期內(nèi)，公司積極開拓全球市場，并積極承接MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造訂單，持續(xù)服務(wù)于包括DNA/RNA測序、光刻機(jī)、硅光子、AI計(jì)算、ICT、紅外熱成像、計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)及系統(tǒng)、元宇宙、新型醫(yī)療設(shè)備等廠商以及通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車和消費(fèi)電子等各細(xì)分領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)。

    凱美特氣屬于電子特氣領(lǐng)域的“新星”。公司此前公告顯示，2023年2月份公司光刻氣產(chǎn)品取得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認(rèn)證函，意味著電子特氣（激光混配氣）有望切入國內(nèi)及海外主流供應(yīng)鏈。公司2024年半年報(bào)顯示，目前公司已建立研發(fā)部門，掌握了多項(xiàng)氣體方面的核心技術(shù)，通過各項(xiàng)激勵(lì)措施確保研發(fā)核心團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定，通過不斷完善研究開發(fā)機(jī)制與技術(shù)，促進(jìn)技術(shù)發(fā)展的綠色化和可持續(xù)化。

    新萊應(yīng)材在泛半導(dǎo)體等業(yè)務(wù)領(lǐng)域有所建樹。“公司經(jīng)過多年持續(xù)努力，無論在真空應(yīng)用還是在UHP應(yīng)用等級的管道、管件、閥門等產(chǎn)品被國內(nèi)外客戶廣泛認(rèn)可并大量使用。”新萊應(yīng)材相關(guān)負(fù)責(zé)人在8月27日接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司會(huì)抓住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)轉(zhuǎn)移的契機(jī)，在半導(dǎo)體設(shè)備及廠務(wù)端零部件市場積極布局，預(yù)期未來該業(yè)務(wù)板塊將保持高速增長。

    同飛股份致力于工業(yè)制冷設(shè)備的研發(fā)。公司在8月28日接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司持續(xù)激發(fā)創(chuàng)新活力，重點(diǎn)聚焦儲能、高端裝備制造、電力電子、半導(dǎo)體制造、氫能、數(shù)據(jù)中心、新能源汽車（充換電）等核心產(chǎn)業(yè)方向展開深入研發(fā)，2024年上半年公司研發(fā)費(fèi)用為4590.11萬元，同比增長24.11%，占營業(yè)收入的5.74%。

    民生證券表示，海外半導(dǎo)體設(shè)備供給持續(xù)高增滿足短期擴(kuò)產(chǎn)需求，國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)亦在持續(xù)突破，利好半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的長期發(fā)展，繼續(xù)看好國內(nèi)晶圓廠的投資增長和國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化機(jī)遇。

（編輯 何帆）