華特氣體6.46億元可轉(zhuǎn)債申請獲批 半導(dǎo)體用特種氣體加速國產(chǎn)替代

    本報(bào)記者 李昱丞 見習(xí)記者 解世豪

    11月25日，華特氣體發(fā)布公告，稱其向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)債申請獲得上交所審議通過。此次擬募資總額不超6.46億元，其中3.83億元用于年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目，7300萬元用于研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目，其余1.9億元用于補(bǔ)充流動(dòng)資金。

    “我國是全球半導(dǎo)體消費(fèi)大國，半導(dǎo)體行業(yè)景氣度持續(xù)走高，但國內(nèi)半導(dǎo)體用電子氣體市場一直被國際巨頭壟斷，為我國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的健康發(fā)展帶來了不確定性。華特氣體募投項(xiàng)目中的產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，該項(xiàng)目的實(shí)施有助于提升公司產(chǎn)能，擴(kuò)大公司經(jīng)營規(guī)模，從而帶動(dòng)本土企業(yè)積極參與國際競爭，推動(dòng)國產(chǎn)替代的發(fā)展進(jìn)程。”深度科技研究院院長張孝榮向《證券日報(bào)》記者表示。

    募資加碼半導(dǎo)體用特種氣體

    華特氣體主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體、氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，打造一站式服務(wù)能力，能夠面向全球市場提供氣體應(yīng)用綜合解決方案。

    據(jù)悉，在半導(dǎo)體材料中，電子特種氣體幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有重大影響，被稱為半導(dǎo)體制造的“糧食”。

    此次募投項(xiàng)目中的1764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施主體為華特氣體全資子公司江西華特電子化學(xué)品有限公司，建設(shè)地位于江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園，預(yù)計(jì)建設(shè)期為2年，項(xiàng)目總投資4.66億元，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構(gòu)體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1764噸。

    華特氣體表示，募投項(xiàng)目產(chǎn)品均為電子特種氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。其中，高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優(yōu)勢產(chǎn)品，近年來下游需求不斷增長，目前公司產(chǎn)能出現(xiàn)瓶頸，亟須擴(kuò)產(chǎn)。

    而高純六氟丙烷、電子級(jí)溴化氫和電子級(jí)三氯化硼為公司規(guī)劃的新產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品均著眼于下游半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域的未來發(fā)展趨勢，結(jié)合下游客戶的需求所布局，相關(guān)產(chǎn)品均具備較大的未來市場空間和國產(chǎn)化替代空間。

    事實(shí)上，華特氣體擴(kuò)產(chǎn)電子特種氣體的動(dòng)作不止于此。公司還曾于9月26日晚發(fā)布公告表示，擬與江蘇省如東沿海經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽訂項(xiàng)目建設(shè)協(xié)議書。公司擬于江蘇省如東沿海經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)建設(shè)生產(chǎn)基地，項(xiàng)目總投資5億元。建成后可生產(chǎn)2000噸/年高純氟碳?xì)怏w、1000噸/年高純二氧化碳和1000噸/年高純氧化亞氮等電子氣體。

    加速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代

    根據(jù)Linx數(shù)據(jù)，半導(dǎo)體所消費(fèi)的特種氣體占全部電子特種氣體的73.1%，顯示面板為19.4%，化合物半導(dǎo)體及LED為4.4%，光伏為3.1%。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，全球電子特種氣體的市場規(guī)模2021年進(jìn)一步增長至45.38億美元，預(yù)計(jì)2025年全球市場規(guī)模突破60億美元，2021-2025年CAGR為7.3%。

    不盡如人意的是，電子特種氣體地位重要且市場空間廣闊，但目前國內(nèi)自主生產(chǎn)的電子特種氣體市場份額占比較小，還有較大的突破空間。華特氣體表示，長期以來，我國6N及6N以上的超高純氣體以及半導(dǎo)體前驅(qū)體材料主要依賴于國外進(jìn)口，國內(nèi)行業(yè)內(nèi)企業(yè)亟待能夠打破國外壟斷、實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，形成自主可控的產(chǎn)業(yè)集群。

    以華特氣體此次規(guī)劃的新產(chǎn)品電子級(jí)三氯化硼為例，電子級(jí)三氯化硼是用于半導(dǎo)體和集成電路領(lǐng)域的高純度三氯化硼，其純度需要達(dá)到99.99%以上。電子級(jí)三氯化硼主要應(yīng)用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝，其雜質(zhì)含量和純度直接影響半導(dǎo)體器件和集成電路的性能指標(biāo)和良率，純度一般要求在5N以上，生產(chǎn)技術(shù)壁壘較高。

    目前，全球電子級(jí)三氯化硼主要由日本宇部興產(chǎn)、日本昭和電工等國外氣體廠商壟斷，屬于被外資企業(yè)“卡脖子”的關(guān)鍵產(chǎn)品，對我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控產(chǎn)生了較大威脅。

    華特氣體相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“公司本次募投項(xiàng)目規(guī)劃電子級(jí)三氯化硼共300噸，主要目標(biāo)是對目前我國集成電路等領(lǐng)域使用的電子級(jí)三氯化硼產(chǎn)品進(jìn)行一定程度的國產(chǎn)替代。同時(shí)也有同行業(yè)其他公司在向這個(gè)目標(biāo)努力。本次募投項(xiàng)目將進(jìn)一步提高半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化率，此外還能進(jìn)一步完善公司產(chǎn)品布局，擴(kuò)充公司氣體產(chǎn)品種類，為公司后續(xù)的業(yè)績貢獻(xiàn)新的利潤增長點(diǎn)。”

（編輯 袁元）